洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用

国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用》 由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 、苏州安泰空气技术有限公司 、苏州苏信环境科技有限公司 、中国电子系统工程第二建设有限公司 、吴江市华宇净化设备有限公司 、中国标准化协会 、上海尚远建设工程有限公司 、中国电子工程设计院股份有限公司 、中国科学院大气物理研究所 、烟台宝源净化有限公司 、北京戴纳实验科技有限公司 、广州保瑞医疗技术有限公司 、谱尼测试集团股份有限公司 、上海市室内环境净化行业协会 、仲恺农业工程学院 、科锐特（厦门）净化科技有限公司 、杭州捷瑞智能装备股份有限公司 、惠特科学技术有限公司 、朗恒科技集团有限公司 、新拓洋生物工程有限公司 。 主要起草人 苗心向 、袁晓东 、王天羿 、孙扬 、郝胤博 、吴志坚 、惠旅锋 、陆晶 、丁禹龙 、高怡婷 、奚晓鹏 、杨云涛 、王芳 、贺乐凯 、丁力行 、高正 、魏兰 、山香菊 、张长安 、胡思伟 、黄狄文 、张建国 、李华新 、危勇华 、奚光明 。 GB/T 25915.17-2024 即将实施 本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-17:2021。 采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用。