氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 新特能源股份有限公司 、新疆晶硕新材料有限公司 、瑞士万通中国有限公司 、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司 、青岛盛瀚色谱技术有限公司 、青岛普仁仪器有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、江苏联瑞新材料股份有限公司 、青岛瓷兴新材料有限公司 。 主要起草人 银波 、邱艳梅 、刘国霞 、黄彬 、李素青 、张吉武 、宋炳信 、鲁文锋 、王港 、李玫 、张正霞 、吴英良 、侯倩慧 、王晓娇 、曹家凯 、高裕昆 、崔巍 。 GB/T 42276-2022 现行