标准概要

蓝宝石单晶抛光衬底片

Polished monocrystalline sapphire substrates

国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位天津半导体技术研究所。 GB/T 13843-1992 废止本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI M3:1983。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 13843-1992

发布日期 1992-12-28

实施日期 1993-08-01

废止日期 2017-12-15

标准号 GB/T 13843-1992

发布日期 1992-12-28

实施日期 1993-08-01

废止日期 2017-12-15

起草单位

天津半导体技术研究所

起草人

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申明

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