标准概要

200mm硅外延片

200mm silicon epitaxial wafer

国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院。主要起草人马林宝、骆红、杨帆、金龙、杨素心。 GB/T 35310-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 35310-2017

发布日期 2017-12-29

实施日期 2018-07-01

标准号 GB/T 35310-2017

发布日期 2017-12-29

实施日期 2018-07-01

起草单位

南京国盛电子有限公司

有色金属技术经济研究院

起草人

马林宝

骆红

杨素心

杨帆

金龙

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申明

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