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  标准概要

200mm硅外延片

200mm silicon epitaxial wafer
国家标准《200mm硅外延片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。 主要起草人 马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。 GB/T 35310-2017 现行
  基础信息
标准号 GB/T 35310-2017
发布日期 2017-12-29
实施日期 2018-07-01
标准号 GB/T 35310-2017
发布日期 2017-12-29
实施日期 2018-07-01
  起草单位
  南京国盛电子有限公司
  有色金属技术经济研究院
  起草人
  马林宝
  骆红
  杨素心
  杨帆
  金龙
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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