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  标准概要

电子工业用气体 氩

Gases for electronic industry--Argon
国家标准《电子工业用气体 氩》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 化学工业部西南化工研究院 。 GB/T 16945-1997 废止 GB/T 16945-2009 (全部代替) 本标准等效采用ITU国际标准:SEMI C3.46:1993(1995)。 采标中文名称:。
  基础信息
标准号 GB/T 16945-1997
发布日期 1997-08-13
实施日期 1998-05-01
废止日期 2010-05-01
标准号 GB/T 16945-1997
发布日期 1997-08-13
实施日期 1998-05-01
废止日期 2010-05-01
  起草单位
  化学工业部西南化工研究院
  起草人
  GB/T 16945-2009  电子工业用气体 氩
  HG/T 4985-2016  焊接用混合气体 氦/氩
  HG/T 4986-2016  焊接用混合气体 氧/氩
  HG/T 3728-2004  焊接用混合气体 氩-二氧化碳
  GB/T 16942-2009  电子工业用气体 氢
  HG/T 4984-2016  焊接用混合气体 二氧化碳-氧/氩
  SJ/T 11517-2015  电子工业用气体 一氧化碳
  GB/T 14601-2009  电子工业用气体 氨
  GB/T 14604-2009  电子工业用气体 氧
  GB/T 16943-2009  电子工业用气体 氦
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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