标准概要

电子工业用气体氩

Gases for electronic industry--Argon

国家标准《电子工业用气体氩》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位化学工业部西南化工研究院。 GB/T 16945-1997 废止 GB/T 16945-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：SEMI C3.46:1993(1995)。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 16945-1997

发布日期 1997-08-13

实施日期 1998-05-01

废止日期 2010-05-01

标准号 GB/T 16945-1997

发布日期 1997-08-13

实施日期 1998-05-01

废止日期 2010-05-01

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

HG/T 4985-2016 焊接用混合气体氦/氩

HG/T 4986-2016 焊接用混合气体氧/氩

HG/T 3728-2004 焊接用混合气体氩-二氧化碳

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

HG/T 4984-2016 焊接用混合气体二氧化碳-氧/氩

SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

推荐标准

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申明

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电子工业用气体 氩

电子工业用气体氩