标准概要

电子工业用气体 5N氯化氢

Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所。主要起草人张吉瑞、孙福楠、刘筠。 GB/T 24469-2009 废止 GB/T 14602-2014 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 24469-2009

发布日期 2009-10-15

实施日期 2009-12-01

废止日期 2015-07-01

标准号 GB/T 24469-2009

发布日期 2009-10-15

实施日期 2009-12-01

废止日期 2015-07-01

起草单位

北京华宇同方化工科技开发有限公司

信息产业部标准化四所

光明化工研究设计院

起草人

张吉瑞

孙福楠

刘筠

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申明

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