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电子工业用气体 5N氯化氢

Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride
国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司 、光明化工研究设计院 、信息产业部标准化四所 。 主要起草人 张吉瑞 、孙福楠 、刘筠 。 GB/T 24469-2009 废止 GB/T 14602-2014 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 24469-2009
发布日期 2009-10-15
实施日期 2009-12-01
废止日期 2015-07-01
标准号 GB/T 24469-2009
发布日期 2009-10-15
实施日期 2009-12-01
废止日期 2015-07-01
  起草单位
  北京华宇同方化工科技开发有限公司
  信息产业部标准化四所
  光明化工研究设计院
  起草人
  张吉瑞
  孙福楠
  刘筠
  推荐标准
  申明
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