标准概要

硅片表面平整度测试方法

Testing methods for surface flatness of silicon slices

国家标准《硅片表面平整度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海合晶硅材料有限公司。主要起草人徐新华、严世权、王珍。 GB/T 6621-1995 （全部代替） GB/T 6621-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 6621-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 6621-1995

标准号 GB/T 6621-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 6621-1995

起草单位

上海合晶硅材料有限公司

起草人

徐新华

严世权

王珍

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