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标准概要
电子工业用气体 氮
Gas for electronic industry - Nitr ogen
国家标准《电子工业用气体 氮》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 。 主要起草人 周泽义 、周鹏云 。 GB/T 16944-1997 (全部代替) GB/T 16944-2009 现行 20231008-T-469 正在审查
基础信息
标准号
GB/T 16944-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
全部代替标准
GB/T 16944-1997
标准号
GB/T 16944-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
全部代替标准
GB/T 16944-1997
起草单位
中国计量科学研究院
西南化工研究设计院
起草人
周泽义
周鹏云
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