光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

国家标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学院微电子中心 。 GB/T 16880-1997 现行 本标准等同采用其他国际标准：SEMI P22:1993。 采标中文名称:。