重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。 主要起草人 马农农 、何友琴 、丁丽 。 GB/T 24580-2009 现行 本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1528-1104。 采标中文名称:用二次离子质谱法测量重搀杂N型硅衬底中的硼污染的方法。