标准概要

硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。主要起草人李慎重、许峰、刘培东、谌攀、马林宝、何秀坤。 GB/T 14141-1993 （全部代替） GB/T 14141-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 14141-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14141-1993

标准号 GB/T 14141-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14141-1993

起草单位

宁波立立电子股份有限公司

信息产业部专用材料质量监督检验中心

南京国盛电子有限公司

起草人

李慎重

许峰

马林宝

何秀坤

刘培东

谌攀

推荐标准

GB/T 34492-2017 500kA铝电解槽技术规范

GB 42301-2022 口岸公共卫生核心能力建设技术规范

GB/T 20611-2006 智能运输系统中央数据登记簿数据管理机制要求

GB/T 9732-1988 化学试剂铵测定通用方法

GB/T 41432-2022 家用电器产品个性化定制指南

GB/T 31860-2015 镀膜用氟化镁

GB/T 37857-2019 聚乳酸热成型一次性验尿杯

GB/T 3579-2006 自行车链条技术条件和试验方法

GB/T 6609.17-2004 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法钼蓝分光光度法测定五氧化二磷含量

GB/T 37581-2019 不透性石墨设备腐蚀控制工程全生命周期要求

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准出版社

团体标准申请得要多少钱

团体保险激励方案

做团体标准需要什么条件

团体标准流程

团体标准是什么标准

农村土地分配标准

良好的班集体的标准是什么

团体标准：推动行业规范化发展的关键力量

行业标准跟团体标准区别