标准概要

电子工业用气体砷化氢

Gases for electronic industry - Arsine

国家标准《电子工业用气体砷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。主要起草人孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛等。 GB/T 26250-2010 现行 20231006-T-469 正在批准

基础信息

标准号 GB/T 26250-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

标准号 GB/T 26250-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

起草单位

西南化工研究设计院

光明化工研究设计院

上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙福楠

方华

周鹏云

庄鸿涛

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