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标准概要
微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中机生产力促进中心 、天津大学 、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、南京理工大学 。 主要起草人 胡晓东 、郭彤 、程红兵 、于振毅 、李海斌 、崔波 、朱悦 、裘安萍 。 GB/T 34894-2017 现行
基础信息
标准号
GB/T 34894-2017
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
标准号
GB/T 34894-2017
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
起草单位
中机生产力促进中心
国家仪器仪表元器件质量监督检验中心
南京理工大学
天津大学
中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人
胡晓东
郭彤
李海斌
崔波
程红兵
于振毅
朱悦
裘安萍
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