磷化铟多晶

国家标准《磷化铟多晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京金美镓业有限公司 、有色金属技术经济研究院 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、广东先导稀材股份有限公司 、石家庄麦特达电子科技有限公司 、中国科学院半导体研究所 、云南中科鑫圆晶体材料有限公司 。 主要起草人 范家骅 、邢志国 、杨桂芳 、刘文兵 、李素青 、王阳 、李晓岚 、孙聂枫 、刘惠生 、赵有文 、惠峰 、朱刘 、刘永豪 。 GB/T 36706-2018 现行