标准概要

晶片通用网格规范

Specification for a universal wafer grid

国家标准《晶片通用网格规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。主要起草人潘金平、饶伟星、杨素心、卢立延、楼春兰、徐新华、吴雄杰、高海军、王伟棱、郑欢欣、余俊军。 GB/T 16595-1996 （全部代替） GB/T 16595-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 16595-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16595-1996

标准号 GB/T 16595-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16595-1996

起草单位

浙江海纳半导体有限公司

有研半导体材料有限公司

上海合晶硅材料有限公司

有色金属技术经济研究院

浙江省硅材料质量检验中心

起草人

潘金平

饶伟星

楼春兰

徐新华

王伟棱

郑欢欣

杨素心

卢立延

吴雄杰

高海军

余俊军

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