晶片通用网格规范

国家标准《晶片通用网格规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 浙江海纳半导体有限公司 、有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 、上海合晶硅材料有限公司 。 主要起草人 潘金平 、饶伟星 、杨素心 、卢立延 、楼春兰 、徐新华 、吴雄杰 、高海军 、王伟棱 、郑欢欣 、余俊军 。 GB/T 16595-1996 （全部代替） GB/T 16595-2019 现行