300mm半导体设备装载端口要求

国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 上海微电子装备（集团）股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备(上海)股份有限公司 、漳州市太龙照明工程有限公司 、深圳市埃芯半导体科技有限公司 、苏州镁伽科技有限公司 、中电鹏程智能装备有限公司 。 主要起草人 胡松立 、李运锋 、吴怡然 、曹可慰 、赵俊莎 、周晓锋 、李殿浦 、武小娟 、朱明 、李英 、张宝帅 、洪峰 、张志勇 、乔志新 、王鸣昕 。 GB/T 44375-2024 即将实施