标准概要

硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法

Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

国家标准《硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司。主要起草人王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐。 GB/T 38976-2020 现行

基础信息

标准号 GB/T 38976-2020

发布日期 2020-07-21

实施日期 2021-06-01

标准号 GB/T 38976-2020

发布日期 2020-07-21

实施日期 2021-06-01

起草单位

有研半导体材料有限公司