硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 、有研半导体材料有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、义乌力迈新材料有限公司 。 主要起草人 骆红 、潘文宾 、杨素心 、赵扬 、赵而敬 、张佳磊 、李慎重 、黄黎 、严琴 、黄宇程 、皮坤林 。 GB/T 14146-2009 （全部代替） GB/T 14146-2021 现行