磷化铟单晶

国家标准《磷化铟单晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、广东先导微电子科技有限公司 、有研国晶辉新材料有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 。 主要起草人 孙聂枫 、李晓岚 、王阳 、刘惠生 、惠峰 、李素青 、朱刘 、王书杰 、邵会民 、周铁军 、史艳磊 、付莉杰 、王博 、张晓丹 、姜剑 、王宇 。 GB/T 20230-2006 （全部代替） GB/T 20230-2022 现行