标准概要

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。 GB/T 4061-1983 废止 GB/T 4061-2009 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 4061-1983

发布日期 1983-12-20

实施日期 1984-12-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 4061-1983

发布日期 1983-12-20

实施日期 1984-12-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

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申明

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