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  标准概要

砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》 由610(中国有色金属工业协会)归口 ,主管部门为中国有色金属工业协会。 主要起草单位 北京有色金属研究总院 。 GB/T 8758-1988 废止 GB/T 8758-2006 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 8758-1988
发布日期 1988-02-25
实施日期 1989-02-01
废止日期 2006-12-31
标准号 GB/T 8758-1988
发布日期 1988-02-25
实施日期 1989-02-01
废止日期 2006-12-31
  起草单位
  北京有色金属研究总院
  起草人
  GB/T 8758-2006  砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
  YS/T 14-2015  异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
  YS/T 14-1991  导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
  20240143-T-469  重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
  GB/T 11068-2006  砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
  GB/T 14847-2010  重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
  YS/T 23-2016  硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
  YS/T 23-1992  硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
  GB/T 42905-2023  碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
  YS/T 15-2015  硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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