标准概要

硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位峨嵋半导体材料研究所。 GB/T 11073-1989 废止 GB/T 11073-2007 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 11073-1989

发布日期 1989-03-31

实施日期 1990-02-01

废止日期 2008-02-01

标准号 GB/T 11073-1989

发布日期 1989-03-31

实施日期 1990-02-01

废止日期 2008-02-01

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

起草人

20233945-T-610 硅片径向电阻率变化测量方法

GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法

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申明

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