标准号
GB/T 11297.7-1989
发布日期
1989-03-31
实施日期
1990-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L32
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委
航空航天部8358研究所