标准概要

硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 13388-1992 废止 GB/T 13388-2009 （全部代替）本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F847:1983。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 13388-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 13388-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

SN/T 3514-2013 电工钢晶粒取向与无取向鉴定方法 X射线衍射测定织构法

GB/T 11685-2003 半导体X射线探测器系统和半导体X射线能谱仪的测量方法

WS/T 637-2018 X射线计算机断层摄影成年人诊断参考水平

GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

GB/T 12162.4-2010 用于校准剂量仪和剂量率仪及确定其能量响应的X和γ参考辐射第4部分：低能X射线参考辐射场中场所和个人剂量仪的校准

20231860-T-469 X、γ射线充气电离室

20233945-T-610 硅片径向电阻率变化测量方法

GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

GB/T 25758.5-2010 无损检测工业X射线系统焦点特性第5部分：小焦点和微焦点X射线管的有效焦点尺寸的测量方法

推荐标准

GB/T 14536.5-2008 家用和类似用途电自动控制器密封和半密封电动机-压缩机用电动机热保护器的特殊要求

GB 8950-1988 罐头厂卫生规范

GB 17285-1998 电气设备电源额定值的标记安全要求

GB/T 41167-2021 聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）饮品瓶通用技术要求

GB 16895.2-1997 建筑物电气装置第4部分:安全防护第42章:热效应保护

GB/T 13404-1992 管法兰用聚四氟乙烯包复垫片

GB/T 28567-2012 电线电缆专用设备技术要求

GB/T 4000-2017 焦炭反应性及反应后强度试验方法

GB/T 16555.5-1996 碳化硅耐火材料化学分析方法邻二氮杂菲光度法测定三氧化二铁量

GB/T 18993.1-2020 冷热水用氯化聚氯乙烯（PVC-C）管道系统第1部分：总则

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准