标准概要

电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

国家标准《电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 13387-1992 废止 GB/T 13387-2009 （全部代替）本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F671:1983。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 13387-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 13387-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

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申明

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