标准概要

掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料研究所。 GB/T 13389-1992 废止 GB/T 13389-2014 （全部代替）本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F723:1987。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 13389-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

标准号 GB/T 13389-1992

发布日期 1992-02-19

实施日期 1992-10-01

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

起草人

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申明

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