标准概要

硅-蓝宝石外延片

Silicon on sapphire epitaxial wafers

国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位天津半导体技术研究所。 GB/T 14015-1992 现行本标准非等效采用其他国际标准：SEMI M3:1983。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14015-1992

发布日期 1992-12-28

实施日期 1993-08-01

标准号 GB/T 14015-1992

发布日期 1992-12-28

实施日期 1993-08-01

起草单位

天津半导体技术研究所

起草人

20243061-T-469 300 mm硅外延片

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 44334-2024 埋层硅外延片

GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

20240139-T-469 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

SJ/T 11470-2014 发光二极管外延片

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法

GB/T 43885-2024 碳化硅外延片

推荐标准

申明

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