标准概要

硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法

Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method

国家标准《硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海市有色金属总公司。 GB/T 14146-1993 废止 GB/T 14146-2009 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：DIN 50439:1982。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14146-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 14146-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

上海市有色金属总公司

起草人

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申明

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