标准概要

硅片直径测量方法光学投影法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method

国家标准《硅片直径测量方法光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位洛阳单晶硅厂。 GB/T 14140.1-1993 废止 GB/T 14140-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14140.1-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 14140.1-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

洛阳单晶硅厂

起草人

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申明

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硅片直径测量方法 光学投影法

硅片直径测量方法光学投影法