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  标准概要

300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

300~900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method
国家标准《300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》 由610(中国有色金属工业协会)归口 ,主管部门为中国有色金属工业协会。 主要起草单位 机电部第四十六研究所 。 GB/T 14143-1993 废止 GB/T 1557-2006 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 14143-1993
发布日期 1993-02-06
实施日期 1993-10-01
废止日期 2006-12-31
标准号 GB/T 14143-1993
发布日期 1993-02-06
实施日期 1993-10-01
废止日期 2006-12-31
  起草单位
  机电部第四十六研究所
  起草人
  SJ/T 10625-1995  锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法
  GB/T 1557-2018  硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
  SJ/T 11491-2015  短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  20231107-T-469  硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法
  SJ/T 11552-2015  以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  SJ/T 10627-1995  通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
  GB/T 19444-2004  硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法
  YB/T 4738-2019  硅钙合金 氧含量的测定 惰性气体熔融红外吸收法
  YB/T 4305-2012  钢铁及合金 氧含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法
  YB/T 4566.9-2016  氮化钒铁 氧含量的测定 红外线吸收法
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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