标准概要

硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques

国家标准《硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨眉半导体材料研究所。 GB/T 14142-1993 废止 GB/T 14142-2017 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM F80:1985。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14142-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2018-04-01

标准号 GB/T 14142-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2018-04-01

起草单位

峨眉半导体材料研究所

起草人

GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法

YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法

20243061-T-469 300 mm硅外延片

推荐标准

GB/T 13277.9-2022 压缩空气第9部分：液态水含量测量方法

GB/T 11017.3-2024 额定电压66 kV（Um=72.5 kV）和110 kV（Um=126 kV）交联聚乙烯绝缘电力电缆及其附件第3部分：电缆附件

GB/T 8619-1988 钎缝强度试验方法

GB/T 4295-2019 碳化钨粉

GB/T 21001.1-2015 制冷陈列柜第1部分：术语

GB/T 34344-2017 农产品物流包装材料通用技术要求

GB/T 2550-2016 气体焊接设备焊接、切割和类似作业用橡胶软管

GB/T 6587.1-1986 电子测量仪器环境试验总纲

GB/T 1732-2020 漆膜耐冲击测定法

GB/T 4728.6-2022 电气简图用图形符号第6部分：电能的发生与转换

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法

硅外延层晶体完整性检查方法腐蚀法