硅外延片

国家标准《硅外延片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 上海第二冶炼厂 。 GB/T 14139-1993 废止 GB/T 14139-2009 （全部代替） 本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI S2。 采标中文名称:。