标准概要

硅外延片

Silicon epitaxial wafers

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海第二冶炼厂。 GB/T 14139-1993 废止 GB/T 14139-2009 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI S2。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14139-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 14139-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

上海第二冶炼厂

起草人

20243061-T-469 300 mm硅外延片

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

GB/T 44334-2024 埋层硅外延片

GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

20240139-T-469 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

SJ/T 11470-2014 发光二极管外延片

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法

推荐标准

GB/T 39123-2020 X射线和γ射线探测器用碲锌镉单晶材料规范

GB/T 22572-2008 表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

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GB/T 1702-1997 力车轮胎

GB/T 33502-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱（XPS）数据记录与报告的规范要求

GB/T 3997.2-1998 定形隔热耐火制品常温耐压强度试验方法

GB/T 16766-2017 旅游业基础术语

GB/T 19751-2005 混合动力电动汽车安全要求

GB/T 18385-2001 电动汽车动力性能试验方法

GB 14923-2001 实验动物哺乳类实验动物的遗传质量控制

申明

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