氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法

国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京科技大学 、中国科学院半导体研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中国科学院青海盐湖研究所 、青海圣诺光电科技有限公司 。 主要起草人 齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。 GB/T 42274-2022 现行