标准概要
国家标准《电子级多晶硅》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、有研半导体硅材料股份公司 、麦斯克电子材料股份有限公司 、亚洲硅业(青海)股份有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 、新特能源股份有限公司 、四川永祥新能源有限公司 、上海赛夫特半导体材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、浙江海纳半导体股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司 。 主要起草人 田新 、将文武 、赵培芝 、万首正 、李素青 、秦榕 、王彬 、孙燕 、贺东江 、陈卫群 、宗冰 、徐岩 、邱艳梅 、李斌 、刘晓霞 、张遵 、付绪光 、董先君 、潘金平 、张园园 、雷聪 。 GB/T 12963-2014 (全部代替) GB/T 12963-2022 现行