标准概要

电子工业用气体氧

Gases for electronic industry--Oxygen

国家标准《电子工业用气体氧》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位化工部西南化工研究院。 GB/T 14604-1993 废止 GB/T 14604-2009 （全部代替）本标准修改采用ITU国际标准：SEMI C3.16-88、C3.17-90。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14604-1993

发布日期 1993-08-26

实施日期 1994-07-01

废止日期 2010-05-01

标准号 GB/T 14604-1993

发布日期 1993-08-26

实施日期 1994-07-01

废止日期 2010-05-01

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷

GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯

20231008-T-469 电子气体大宗气体

GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷

推荐标准

GB/T 19770-2005 电影评价电视用电影和幻灯的观看条件彩色、亮度和尺寸

GB/T 33339-2016 全钒液流电池系统测试方法

GB/T 40746-2021 淡水有核珍珠

GB/T 4092.2-1992 程序设计语言COBOL 核心模块

GB/T 44810.1-2024 IPv6网络安全设备技术要求第1部分：防火墙

GB/T 35856-2018 飞机电气设备绝缘电阻和耐电压试验方法

GB/T 16035-1995 车间空气中砷化氢的二乙氨基二硫代甲酸银分光光度测定方法

GB/T 9789-1988 金属和其他非有机覆盖层通常凝露条件下的二氧化硫腐蚀试验

GB/T 42326-2023 内河航道代码

GB/T 38814-2020 钢丝绳索具疲劳试验方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

电子工业用气体 氧

电子工业用气体氧