标准概要

重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位机电部四十六所。 GB/T 14847-1993 废止 GB/T 14847-2010 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F95:1989。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14847-1993

发布日期 1993-12-30

实施日期 1994-09-01

废止日期 2011-10-01

标准号 GB/T 14847-1993

发布日期 1993-12-30

实施日期 1994-09-01

废止日期 2011-10-01

起草单位

机电部四十六所

起草人

20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法

GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法

GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

推荐标准

GB/T 5413.7-1997 婴幼儿配方食品和乳粉灰分的测定

GB/T 23024-2024 制造业数字化仿真分类

GB/T 7311-2003 包装机械型号编制方法

GB/T 18226-2000 高速公路交通工程钢构件防腐技术条件

GB/T 14266-1993 硬质合金旋转锉毛坯

GB/T 6159.6-2003 缩微摄影技术词汇第6部分: 设备

GB/T 17951.2-2002 半工艺冷轧无取向电工钢带（片）

GB/T 24818.4-2017 起重机通道及安全防护设施第4部分：臂架起重机

GB/T 12005.2-1989 聚丙烯酰胺固含量测定方法

GB/T 5480.7-2004 矿物棉及其制品试验方法第7部分:吸湿性

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签