电子工业用气体 磷化氢

国家标准《电子工业用气体 磷化氢》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 化工部光明化工研究所 。 GB/T 14851-1993 废止 GB/T 14851-2009 （全部代替） 本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。 采标中文名称:。