标准概要

硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。 GB 1554-1979 （全部代替） GB 4057-1983 （全部代替） GB/T 1554-1995 废止 GB/T 1554-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F47:1988。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 1554-1995

发布日期 1995-04-18

实施日期 1995-12-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 1554-1995

发布日期 1995-04-18

实施日期 1995-12-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法

GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

20232705-T-339 地面用晶体硅光伏电池总规范

SJ/T 11801—2024 晶体硅光伏电池用背面银浆

SJ/T 11802—2024 晶体硅光伏电池用正面银浆

20231868-Z-339 晶体硅光伏组件光热诱导衰减（LETID）试验检测

20231864-Z-339 光伏电池第2部分：晶体硅光伏电池电致发光图像

SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备

SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式PECVD设备

推荐标准

GB/T 8476-2008 湖北白猪

GB/T 4817-1995 阔叶树锯材

GB/T 15579.5-2023 弧焊设备第5部分：送丝装置

GB/T 17044-2013 钢丝绳芯输送带覆盖层与带芯层粘合强度试验

GB/T 44654-2024 非晶软磁合金丝材

GB/T 16453.4-1996 水土保持综合治理技术规范小型蓄排引水工程

GB/T 43132-2023 超硬磨料制品精密刀具数控磨削用砂轮

GB/T 6730.18-2006 铁矿石磷含量的测定钼蓝分光光度法

GB/T 36878-2018 密封胶抗撕裂强度的测定

GB/T 42194-2022 儿童福利机构社会工作术语

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签