硅片弯曲度测试方法

国家标准《硅片弯曲度测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 洛阳单晶硅厂 。 GB 6619-1986 （全部代替） GB/T 6619-1995 废止 GB/T 6619-2009 （全部代替） 本标准等效采用ITU国际标准：ASTM 534:1991。 采标中文名称:。