标准概要

硅片抗弯强度测试方法

Test method for measuring flexure strength of silicon slices

国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中南工业大学。 GB/T 15615-1995 废止

基础信息

标准号 GB/T 15615-1995

发布日期 1995-07-12

实施日期 1996-02-01

废止日期 2004-10-14

标准号 GB/T 15615-1995

发布日期 1995-07-12

实施日期 1996-02-01

废止日期 2004-10-14

起草单位

中南工业大学

起草人

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申明

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