电子工业用气体 硅烷（SiH4）

国家标准《电子工业用气体 硅烷（SiH4）》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 化工部西南化工研究院 。 GB/T 15909-1995 废止 GB/T 15909-2009 （全部代替） 本标准等同采用ITU国际标准：SEMI C3.54:1993。 采标中文名称:。