标准概要

半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

国家标准《半导体设备电源接口》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国华晶电子集团公司。 GB/T 15872-1995 废止 GB/T 15872-2013 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI E7:1992。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 15872-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2014-05-15

标准号 GB/T 15872-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2014-05-15

起草单位

中国华晶电子集团公司

起草人

GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口

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申明

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