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离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment
国家标准《离子注入机通用技术条件》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位 电子工业部第四十八研究所 。 GB/T 15862-1995 废止 GB/T 15862-2012 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 15862-1995
发布日期 1995-12-22
实施日期 1996-08-01
废止日期 2013-02-15
标准号 GB/T 15862-1995
发布日期 1995-12-22
实施日期 1996-08-01
废止日期 2013-02-15
  起草单位
  电子工业部第四十八研究所
  起草人
  GB/T 15862-2012  离子注入机通用规范
  YS/T 1371-2020  离子注入机用钨材
  EJ/T 647-1994  金属用工业离子注入机
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  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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