标准概要

离子束蚀刻机通用技术条件

Generic specification of ion beam etching system

国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位电子部长沙半导体工艺设备所。 GB/T 15861-1995 废止 GB/T 15861-2012 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 15861-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2013-02-15

标准号 GB/T 15861-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2013-02-15

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所

起草人

GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

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申明

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