标准概要

半导体设施接口技术文件编写导则

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

国家标准《半导体设施接口技术文件编写导则》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国华晶电子集团公司。 GB/T 15873-1995 现行本标准非等效采用其他国际标准：SEMI E6:1992。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 15873-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

标准号 GB/T 15873-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

起草单位

中国华晶电子集团公司

起草人

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申明

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