标准概要

硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。 GB/T 15871-1995 现行本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 15871-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

标准号 GB/T 15871-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

起草单位

长沙韶光微电子总公司

起草人

GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

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推荐标准

申明

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