标准概要

微米级长度的扫描电镜测量方法

Micron grade length measurement by SEM

国家标准《微米级长度的扫描电镜测量方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海市测试技术研究所。 GB/T 16594-1996 废止 GB/T 16594-2008 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 16594-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2009-05-01

标准号 GB/T 16594-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2009-05-01

起草单位

上海市测试技术研究所

起草人

GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则

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申明

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