标准概要

确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国有色金属工业总公司。 GB/T 16596-1996 废止 GB/T 16596-2019 （全部代替）本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 16596-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2020-02-01

标准号 GB/T 16596-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2020-02-01

起草单位

中国有色金属工业总公司

起草人

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

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申明

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