标准概要

晶片通用网格规范

Specification for a universal wafer grid

国家标准《晶片通用网格规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国有色金属工业总公司。 GB/T 16595-1996 废止 GB/T 16595-2019 （全部代替）本标准等效采用其他国际标准：SEMI M17:1990。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 16595-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2020-02-01

标准号 GB/T 16595-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2020-02-01

起草单位

中国有色金属工业总公司

起草人

GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范

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申明

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