标准概要

硅多晶

Polycrystalline silicon

国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨眉半导体材料厂。 GB 12963-1991 （全部代替） GB/T 12963-1996 废止 GB/T 12963-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：SEMI M16:1989。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 12963-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 12963-1996

发布日期 1996-11-04

实施日期 1997-04-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

峨眉半导体材料厂

起草人

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GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

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20231109-T-469 太阳能级多晶硅

推荐标准

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申明

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